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吸附式尾气处理设备
PVD、CVD、ETCH
坚固、精密、洁净、专业

吸附式尾气处理设备:通过与吸附药剂的化学反应完全非可逆地处理废气。

产品规格型号

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产品介绍

吸附式尾气处理设备:通过与吸附药剂的化学反应完全非可逆地处理废气。

处理特气效率完美

运营成本低,无废水

易维护 & 更换吸附桶方便

操作稳定,可 PLC/Touch Panel 自动控制

配置应急或备份吸附桶,无缝切换

主要应用行业:Semi,FPD,Solar,LED

主要应用工艺:IMP/Etch/MOCVD/ 厂务等

设备尺寸:600(W)x 600(D)x 1835(H)mm

处理容量:100L

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