吸附式尾气处理设备:通过与吸附药剂的化学反应完全非可逆地处理废气。
处理特气效率完美
运营成本低,无废水
易维护 & 更换吸附桶方便
操作稳定,可 PLC/Touch Panel 自动控制
配置应急或备份吸附桶,无缝切换
主要应用行业:Semi,FPD,Solar,LED
主要应用工艺:IMP/Etch/MOCVD/ 厂务等
设备尺寸:600(W)x 600(D)x 1835(H)mm
处理容量:100L