水洗式尾气处理设备：使用螺旋喷嘴配合 4 级水洗，最大化处理 水溶性及与水反应性气体。

使用耐腐蚀材料，整体防腐蚀设计

维护方便

操作稳定，PLC/Touch Panel 自动控制

运营成本低

主要应用行业：Semi，FPD，Solar，LED

主要应用工艺：Etch/ 厂务等

设备尺寸：900(W）x 800（D）x 1850（H）mm

处理容量：600LPM

设备处理气体种类：NH3，CI2，HCI，HBr，SO2，NO2 等溶于水的气体