采用直流等离子体 (Plasma) 发出超高温（3000℃）使气体受热分解， 再配合水洗冷却，从而处理易燃易爆、有毒的以及 PFC 气体。

低功率，高性能

出色的 PFC 气体处理效率

通过配置静电除尘系统，达到超过 99％的副产物颗粒处理效率

等离子火炬使用寿命长

出色的防腐设计

自动模式，使用简便

主要应用行业：Semi，FPD，Solar，LED

主要应用工艺：Etch/CVD 等