通过电加热使气体氧化燃烧或热分解 , 配套水洗喷淋，综合处理有害废气。

采用筒式加热棒，高加热效率及均匀热分布，温度 850℃

易于维护

操作简便，PLC/Touch Panel 自动控制

整体防腐设计

可选配湿式静电除尘模块

运行成本低

广泛应用于：Semi，FPD，Solar，LED 行业的各种工艺

设备尺寸：900(W）x 850（D）x 1800（H）mm

处理容量：600SLM-1600SLM

设 备 处 理 气 体 种 类：SiH4，PH3，B2H6，CL2，HBr，NH3·CI2,HCI,HBr,SO2,NO2 等