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CF 法兰产品采用高品质不锈钢洁净材料,高精度加工,适用于高真空和超高真空的应用,有 SUS304,SUS316L 材质可供选择。
CF 法兰采用无氧铜密封圈可以有效的与 CF 法兰进行密封,最低真空度可以达到 1x10-10Torr。无氧铜可以耐 450℃的高温,可以适用于真空腔体和管件的高温烘烤。
赛米瑟真空产品的焊点全部进行真空检漏,产品清洗经过超声波清洗设备清洗,对于半导体行业严苛的清洁要求,采用超纯水,去离子水清洗,并在无尘环境进行干燥和包装,确保产品的洁净度。