典型应用

半导体制造：晶圆刻蚀、CVD 过程监控。

科研装置：粒子加速器、同步辐射光源的视口。

镀膜设备：光学镀膜厚度实时监测。

电子显微镜：样品室真空隔离与观察。

航天测试：模拟太空环境的舱体观测。

产品结构与材料

视窗材料

光学玻璃：经济实用，适用于可见光范围，耐温达 300℃。

石英玻璃：高紫外透过率，耐温至 1200℃，适合高温 / 激光应用。

蓝宝石：超高硬度与红外透光性，耐腐蚀，用于极端环境。

密封方式

Sealing method

无氧铜金属密封：用于超高真空（≤ 10- ⁸ Pa），高温烘烤耐受。

O 型圈密封：适用于中低真空，便捷更换。

法兰接口

标准法兰：CF 法兰、KF 法兰、ISO 法兰，兼容主流真空系统。

定制化：支持非标尺寸及异形法兰适配。

产品特性

高真空密封：泄漏率＜ 1×10-10

Pa·m3/s，确保系统稳定性。

宽温域适配：石英窗耐受 -80℃至 1000℃（短期峰值 1200℃）。

多光谱透过：可选材料覆盖紫外到红外波段（如石英透光范围 0.2~2.5μm）。

抗冲击设计：蓝宝石窗片可承受 0.5MPa 压差，防爆型可选。

耐腐蚀涂层：可选镀膜处理（如防反射膜、耐酸碱涂层），延长寿命。