SDP 干泵为单级单腔体无油螺杆转子设计。

特殊的变距螺杆线性设计确保干泵低温节能运行。

螺杆转子结构便于固体杂质和水汽的排出，耐严苛工艺。

干泵转子表面和腔体过流部分有耐腐涂层，可以抗工艺腐蚀。

转子间不接触运行，没有磨损，保养周期长，几乎免维护。

干泵采用水冷方式，可以根据需要选用直接冷却或间接冷却。

搭载永磁同步水冷电机，节能高效，真空泵结构更为紧凑。

干式螺杆真空泵的极限真空度和抽气速率不会因工况变化而衰减。

应用领域

半导体（长晶、PVD、CVD、ETCH、ALD、MOCVD 等）

太阳能（长晶、PECVD、ALD、CVD、PVD、层压等）

锂电池（材料搅拌脱气、烤箱干燥、注液、二封、化成等）

面板显示器（PVD、CVD、真空贴合）

医药化工（真空精馏、蒸馏、真空干燥、冻干等）

PCB 制造（真空压合、真空压膜、真空塞孔、等离子清洗）

光学镀膜、刀具镀膜、装饰镀膜

科研、空间模拟、实验室

真空脱气、真空成型、中央真空站