控压蝶阀的工作原理是：蝶形阀板在 0~90°旋转，阀板与阀体相配合起到控制流量的作用。控制器拥有两个 ( 可选 ) 压力传器接口。根据实测的压力计算阀板的角度，以实现要求的腔室压力。驱动电机为自主研发的步进 电机 (FOC) 原理，位于联轴器上的角位移编码器检测位置实现终端测量，即使在工艺气体含有较高污染杂质也 能保证快速精确的过程压力控制。

压力控制 Pressure control

控制单元能够准确和快速的进行压力控制，在正式运行前，需要打开学习功能，需要学习一次，学习完成后系统会自动计算 所需要的参数并保存在控制驱动器的存储器中，控制单元采用了 PID 综合算法，在不断变化的工况下（气体类型的变更和充 气量的变化）也能快速准确的调整，确保在任何时候都能保持用户所要求的腔室压力。

位置控制 Position control

控制驱动单元能够准确和快速的进行角位移控制，通过高精度步进电机和高精度编码器及 PID 计算可以准确的将阀板控制在 任何位置，理论控制精度约 0.003°。

显示和状态 Display and Status

控制驱动单元配置 LED 灯及四位数显示屏，显示当前真空蝶阀的工作状态及通讯状态。

远程控制 Remote control

控制单元配置多种通讯接口，包括 RS485、Devicenet、以太网、EtherCAT 等接口，通过这些通讯接口可实现对运行参数 的设置与压力及位置指令的输入，同时通过这些通讯接口向用户上位机反馈自身的工作状态。

调试软件 Software

真空蝶阀控制系统配备了专用的调试软件，通过一根 RS485 通讯线将调试计算机与蝶阀相连接后就可以对真空阀进行参数 修改调整及真空阀的实际运行状态的监控。

冠客智能蝶形压力控制阀门，利用中间阀板快速和精确动作，阀板在 0~90°旋转，根据集成在控制单 元的两个压力传感器回馈的实测数字信号，通过 PID 算法计算阀板的角度，起到控制管道内气体流导， 从而精准控制系统的压力，稳定在工艺需要的范围。冠客产品位置精准度高，控压稳定好，响应速度快， 阀体单元和驱动单元集成安装，结构紧凑，同时也便于拆卸维护，阀门能够抵抗工艺中的腐蚀性、粉尘 等严苛制程物的影响，产品能够应用于 CVD、ALD 等严苛工艺中。阀门配置双传感器供电，具有双路数 字量输入接收，拥有阀门配置文件的导入和导出功能，内置稳定的压力控制算法，快速学习模式及免自 适应学习模式。支持各种通讯模式和可以提供客制化服务。