赛米瑟全能小型干泵
Air Cooled Dry Pump SDP10S-60T
无油无水,干净环保。
风冷型,无需接冷却水。
非接触运行,无机械磨损。
没有需要经常更换的密封件。
超长保养周期,干净工况使用几乎免维护。
极限真空度高,可用于分子泵的前级泵,
具有远程控制和通讯功能。
内部有涂层处理,耐定量粉尘和水汽,耐微腐蚀。
应用领域
半导体L&L腔和传输腔,干净工艺和中度工艺
等离子清洗设备
科研领域,高真空系统前级
真空干燥、真空脱气
真空蒸馏、精馏、提纯、过滤、冻干等
分析仪器、电子显微镜
真空镀膜、PVD、CVD、ALD等
真空检漏、真空贴合、真空包装