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Air Cooled Dry Pump SDP10S-60T

赛米瑟全能小型干泵

Air Cooled Dry Pump SDP10S-60T

无油无水,干净环保。

风冷型,无需接冷却水。

非接触运行,无机械磨损。

没有需要经常更换的密封件。

超长保养周期,干净工况使用几乎免维护。

极限真空度高,可用于分子泵的前级泵,

具有远程控制和通讯功能。

内部有涂层处理,耐定量粉尘和水汽,耐微腐蚀。


产品规格型号

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产品介绍

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应用领域

半导体L&L腔和传输腔,干净工艺和中度工艺

等离子清洗设备

科研领域,高真空系统前级

真空干燥、真空脱气

真空蒸馏、精馏、提纯、过滤、冻干等

分析仪器、电子显微镜

真空镀膜、PVD、CVD、ALD等

真空检漏、真空贴合、真空包装



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