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KF 法兰波纹管
PVD、CVD、ETCH
坚固、精密、洁净、专业

赛米瑟真空波纹管是真空系统中用于柔性连接的组件,能够在维持真空密封的同时,补偿机械位移(如振动、热胀冷缩)、补偿安装尺寸误差,消除机械震动,确保系统稳定运行。其核心特点是柔性、耐压和高密封性。

产品规格型号

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产品介绍

赛米瑟真空波纹管是真空系统中用于柔性连接的组件,能够在维持真空密封的同时,补偿机械位移(如振动、热胀冷缩)、补偿安装尺寸误差,消除机械震动,确保系统稳定运行。其核心特点是柔性、耐压和高密封性。


真空波纹管是采用 0.15~0.25mm 厚度的不锈钢薄板通过液压成型,材料有 sus304 和 sus316L 可选,波纹管两端焊接标准真空法兰 ( 如 CF、KF、ISO),也可以根据客户要求焊接两端接口。真空波纹管外面可以加金属编制网来增强抗机械损伤能力和耐压能力。


真空波纹管轴向压缩和拉伸长度为 ±10%~±30%,使用寿命可以到达 10 万次以上,泄漏率≤ 1×10-¹⁰ Pa·m³/s(金属波纹管),满足超高真空需求。


真空波纹管主要应用场景,半导体设备,粒子加速器,真空镀膜机,航空航天,真空阀门阀芯,真空管道连接等。


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