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PLD 温度控制器
PVD、CVD、ETCH
坚固、精密、洁净、专业

赛米瑟加热产品能够减少真空管道和排气管道内的气体结晶,能够阻止结晶物在管道内的堆积和堵塞,延长设备和连接管道的维护周期。我们的加热产品能耗低,效率高,加热均匀。MINI 温控装置能够准确的控制设备和管道需要的温度,温度的波动极小,使用安全。HMI 人机控制能够集中控制区域内的加热产品。

产品规格型号

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产品介绍

SV: 设置的目标温度值

AT:AT =1 时,进行参数自整定,

AT=0 时,进行 PID 控制。

P: 比例带

I:积分时间

D: 微分时间

T:采样周期个数,

默认值:T=4,其中一个采样周期时间 Ta=200ms

采样时间 = 采样周期个数 (T) X 一个采样周期时间 (Ta)

B1: 温度偏差补偿,默认值:0

ALH: 温度过高报警,默认值:10,

当 PV>SV+ALH 时,高温报警,并切断机械继电。

ALL: 温度过低报警,默认值:10,

当 PV<SV-ALL 时,低温报警。

CUR: 霍尔传感器,在线监测电流参数变化。

r-r:温控开关,默认值 :0FF;ON →加热,0FF →关闭加热。


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