1958年，中国科学院科学仪器厂，曾成功研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台氦质谱检漏仪；在“两弹一星”、“正负电子对撞机”和航天事业发展中做出卓著贡献。中科科仪在真空获得产品研发与制造方面具有多年经验，产品包括系列分子泵、系列分子泵机组、系列离子泵、系列插板阀、配套控制器，为解决中国半导体卡脖子的问题，中科科仪研发生产了第一台具有自主知识产权的磁悬浮分子泵。